8月21日，從江蘇通用半導(dǎo)體有限公司傳來(lái)消息，由該公司自主研發(fā)的國(guó)內(nèi)首套的8英寸碳化硅晶錠激光全自動(dòng)剝離設(shè)備正式交付碳化硅襯底生產(chǎn)領(lǐng)域頭部企業(yè)廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司，并投入生產(chǎn)。
圖：8英寸SiC晶錠激光全自動(dòng)剝離設(shè)備
該設(shè)備可實(shí)現(xiàn)6英寸和8英寸碳化硅晶錠的全自動(dòng)分片，包含晶錠上料、晶錠研磨、激光切割、晶片分離和晶片收集，一舉填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)碳化硅晶錠激光剝離設(shè)備領(lǐng)域研發(fā)、制造的市場(chǎng)空白，突破了國(guó)外的技術(shù)封鎖，將極大地提升我國(guó)碳化硅芯片產(chǎn)業(yè)的自主化、產(chǎn)業(yè)化水平。
該設(shè)備年可剝離碳化硅襯底20000片，實(shí)現(xiàn)良率95%以上，與傳統(tǒng)的線(xiàn)切割工藝相比，大幅降低了產(chǎn)品損耗，而設(shè)備售價(jià)僅僅是國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品的1/3。
近年來(lái)，碳化硅功率器件在大功率半導(dǎo)體市場(chǎng)中所占的份額不斷提高，并被廣泛應(yīng)用于新能源汽車(chē)、城市軌道交通、風(fēng)力發(fā)電、高速移動(dòng)、物聯(lián)網(wǎng)等一系列領(lǐng)域。
但是，由于材料的高硬度、高脆性的特點(diǎn)，在使用傳統(tǒng)的砂漿線(xiàn)、金剛石線(xiàn)等冷切工藝切割、剝離碳化硅晶錠時(shí)，存在效率過(guò)低、損耗過(guò)高的缺點(diǎn)，導(dǎo)致襯底產(chǎn)能提升過(guò)慢，遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿(mǎn)足市場(chǎng)的實(shí)際需求。由于產(chǎn)能?chē)?yán)重不足，碳化硅襯底的生產(chǎn)成本一直居高不下，在器件成本構(gòu)成中，碳化硅器件中襯底要占成本的47%，遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于硅基器件的7%。
江蘇通用半導(dǎo)體有限公司董事長(zhǎng)陶為銀介紹， 采用基于激光工具和加工技術(shù)切割、剝離碳化硅晶錠，可實(shí)現(xiàn)高效、精確和高質(zhì)量的制造，極大地降低碳化硅襯底的生產(chǎn)成本，減少浪費(fèi)和環(huán)境影響。
碳化硅器件屬于寬禁帶半導(dǎo)體，不但在民用領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，在國(guó)防領(lǐng)域也普遍應(yīng)用。因此對(duì)相關(guān)技術(shù)，西方發(fā)達(dá)國(guó)家都實(shí)行出口管制。目前，只有一家日本企業(yè)生產(chǎn)制造碳化硅晶錠激光剝離設(shè)備，售價(jià)高達(dá)一億元，且對(duì)中國(guó)實(shí)施禁售。
江蘇通用半導(dǎo)體有限公司成立于2019年，致力于高端半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與材料的研發(fā)和制造，于2020年推出國(guó)內(nèi)首臺(tái)半導(dǎo)體激光隱形切割機(jī)；2022年成功推出國(guó)內(nèi)首臺(tái)18納米及以下SDBG激光隱切設(shè)備（針對(duì)3D Memory)；2024年研制成功SDTT激光隱切設(shè)備（針對(duì)3D HBM）。
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