證券時報記者 王一鳴
全球“缺芯”背景下，為晶圓廠提供光刻設(shè)備的領(lǐng)先企業(yè)阿斯麥（ASML）在第四屆進(jìn)博會上的亮相頗受關(guān)注。
在本屆進(jìn)博會上，ASML選擇用3D裸眼視頻展示光刻機(jī)內(nèi)部不同模塊之間的基本原理；并帶來了“鐵三角”光刻全方位解決方案，即以先進(jìn)控制能力的光刻機(jī)臺，計算光刻和電子束量測，通過建模、仿真、分析等技術(shù)，不斷提高邊緣定位精度，持續(xù)賦能每一代芯片的制造，提高芯片生產(chǎn)的良率和產(chǎn)能。
ASML全球副總裁、中國區(qū)總裁沈波在接受證券時報·e公司記者專訪時表示，今年是公司第三次參展，希望在進(jìn)博會的平臺上，讓外界更直觀地了解ASML；開放合作對構(gòu)建復(fù)雜的半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)至關(guān)重要，是行業(yè)賴以生存和繁榮的基礎(chǔ)，這與進(jìn)博會主旨非常契合；作為產(chǎn)業(yè)鏈中的一員，ASML亦會繼續(xù)秉承開放合作的精神去幫助客戶、推動行業(yè)發(fā)展、創(chuàng)新。
繼續(xù)擴(kuò)產(chǎn)需解決
供應(yīng)鏈瓶頸
總部位于荷蘭的ASML，目前每年投入約22億歐元用于技術(shù)研發(fā)，占年銷售額比例約15%。公司在全球16個國家的60個城市設(shè)有辦公室，員工超過29000，包括中國員工1000多名。
從行業(yè)情況來看，先進(jìn)集成電路大規(guī)模生產(chǎn)線的投資可達(dá)100億美元，75%以上是半導(dǎo)體設(shè)備投資，其中最關(guān)鍵、最大宗的設(shè)備是光刻機(jī)、等離子體刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備等。受益于全球缺芯背景下的擴(kuò)產(chǎn)潮，下游晶圓廠對于光刻系統(tǒng)的需求仍在高點。
財報顯示，第三季度ASML共出貨79臺光刻系統(tǒng)，總量比上個季度多出7臺；同期實現(xiàn)凈利潤17億歐元，較上一季度增長67.6%，凈銷售額52.41億歐元，較上一季度增長30.4%，多項業(yè)績數(shù)據(jù)均創(chuàng)下歷史紀(jì)錄。同時該公司完成累計出貨1000臺ArF浸潤式光刻系統(tǒng)的里程碑。
面對旺盛的需求，沈波在談及產(chǎn)能情況時介紹：“整個產(chǎn)業(yè)鏈正處于非常緊張的狀態(tài)，在芯片制造設(shè)備供應(yīng)商中，我們供貨周期較長，這是由于光刻機(jī)相對復(fù)雜，并且客戶對公司產(chǎn)品的需求相對更多。所以近年來公司擴(kuò)產(chǎn)幅度在歷史上前所未有，但擴(kuò)產(chǎn)也面臨了一定局限性。”
由于供應(yīng)鏈長，ASML的擴(kuò)產(chǎn)不可避免地面臨供應(yīng)鏈原材料短缺問題的影響，其中，擴(kuò)產(chǎn)瓶頸之一是需要高度精密加工的光學(xué)鏡片。
該鏡片精度要求有多高？沈波舉例，一款高精密的鏡片大小約1平方米，但在測試時需將該鏡片放大到接近德國國土面積大小，而其表面平整度的起伏不能超過1毫米；另一個相當(dāng)?shù)谋确绞牵瑥牡厍蛏洗蛞皇獾皆虑�，在月球表面的位置誤差不能超過1元硬幣大小。
超高精度要求使得相關(guān)零部件制造流程異常復(fù)雜，這意味著，ASML的擴(kuò)產(chǎn)需要供應(yīng)商的配套跟進(jìn)，比如供應(yīng)商擴(kuò)做鏡片的材料、設(shè)備都需要有一定周期。ASML光刻設(shè)備的供應(yīng)鏈?zhǔn)前雽?dǎo)體產(chǎn)業(yè)的縮影，開放合作是發(fā)展的基石，目前公司有著數(shù)千家供應(yīng)商，光刻設(shè)備約85%的零部件是與供應(yīng)鏈共同研發(fā)。
中國業(yè)務(wù)快速增長
正所謂牽一發(fā)而動全身�！八�，供應(yīng)鏈任何一個環(huán)節(jié)出問題都可能波及這個產(chǎn)業(yè)鏈供給的狀態(tài)。這其實也是整個芯片產(chǎn)業(yè)面臨的挑戰(zhàn)，而不僅僅是ASML單一公司面臨的問題�！鄙虿ㄕJ(rèn)為。
芯片熱還會持續(xù)多久？從半導(dǎo)體設(shè)備市場來看，國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會（SEMI）預(yù)測顯示，2021年半導(dǎo)體設(shè)備市場將躍升至900億美元，細(xì)分市場均實現(xiàn)20%以上的增長。隨著電子產(chǎn)品需求的飆升，在數(shù)字化轉(zhuǎn)型和其他長期技術(shù)趨勢的推動下，2022年前端晶圓廠的全球半導(dǎo)體設(shè)備投資預(yù)計將達(dá)到近1000億美元的新高。
按地區(qū)來看，2022年韓國的晶圓廠設(shè)備支出將達(dá)到300億美元，其次是中國臺灣的260億美元和中國大陸的近170億美元。
談及中國大陸市場情況，沈波向記者介紹，市場增長得非�？�，近年來，ASML每年發(fā)往中國大陸的光刻機(jī)臺數(shù)約占總出貨量的30%。
中國業(yè)務(wù)快速發(fā)展的背后離不開本地創(chuàng)新人才的聚集。事實上，ASML和中國的淵源由來已久，最早一臺光刻機(jī)于1988年進(jìn)入中國，2000年，ASML在天津正式成立了分公司。
目前，ASML已在中國設(shè)有14個辦公室，11個倉儲物流中心，2處開發(fā)中心，1個培訓(xùn)中心，共擁有1200多名員工，在中國大陸已為客戶累計提供了近1000臺裝機(jī)。2021年，ASML開放了一百多個國內(nèi)軟硬件人才的職位，覆蓋全方位光刻解決方案的各塊業(yè)務(wù)。
在回應(yīng)發(fā)貨是否存在優(yōu)先級這一問題時，沈波指出：“行業(yè)其實很透明，ASML在所有條件允許情況下，對全球客戶一視同仁。在中國，總部給我們的目標(biāo)是如何支持好中國的客戶。半導(dǎo)體行業(yè)是全球化融合程度非常高的行業(yè)，幫助中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)即是在幫助全球。另一方面，客戶獲得良好發(fā)展與ASML自身發(fā)展是相輔相成的�！�
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